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了解ALMATEC气动双隔膜泵在半导体行业的应用,请查看以下应用地图

在芯片生产过程中会产生有毒蒸汽和废气,这些必须在洁净室上方的废气处理系统中进行中和处理。

废气处理采用废气洗涤器,清洁废气后会产生受污染的水。Almatec® E系列泵非常适合处理这类废水。


 此外,它们还为废气洗涤器提供必要的清洁剂,如石灰乳。

在污水处理流程中,有一个环节涉及去除结合态污染物和固体,而压滤机常用于这一处理环节。


鉴于这些应用需要更高的压力,建议使用Almatec® AHD或AHS系列泵,这些泵的输送压力可达15巴(218磅/平方英寸)。这些泵设计简单紧凑,且维护需求极低,有助于确保可靠使用。


废水处理中,所有生产过程中使用的化学品在使用后都会经过处理,达到可以排入当地废水处理系统的标准。为此,必须将所有有害物质从流体流中分离出来,并对废水进行中和处理。


在使用和处置之前,部分用过的化学品会先在循环系统中通过热交换器进行冷却。因此,对于高达160°C(320°F)的高温需求,FUTUR系列泵因其耐热特性而成为理想之选

Almatec®还为特殊应用(如溶剂供应)提供了合适的解决方案。在处理溶剂时,防爆是首要任务。这些溶剂主要用于去除晶圆上用于芯片生产的光刻胶。


 FUTUR系列的导电泵采用优质不锈钢制成,能有效防止火花产生。在处理某些腐蚀性介质时,塑料材质的


FUTUR系列泵也可用于爆炸性区域。 导电E系列泵非常适合作为事故情况下的排放泵使用。

Pure Chemical Supply 高纯化学品供给系统


 可靠的化学品供应是所有芯片生产的基础。Almatec®泵非常适合处理现代芯片生产所需的所有化学品。


完全无金属的FUTUR系列泵经过特殊设计,能够在不产生剪切力且不造成颗粒污染的情况下输送要求最苛刻的介质。常见的机柜通常会配备冗余的FUTUR泵,以确保可靠的化学品供应。


Almatec E系列泵非常适合在此应用中作为排水泵使用。

卡车/储罐卸料 Truck/Tank Unloading


卡车/储罐卸料 由于化学品需求不断增长,越来越多的化学品通过油罐车进行运输。Almatec® FUTUR系列气动双隔膜(AODD)泵提供了一种理想的方式,能够在满足与加工工具供应相同的纯度要求下,安全、快速地将化学品从卡车输送到储罐中。该系统同样适用于所有其他输送操作,并确保化学品的高纯度。


对于这些应用,特别推荐使用较大规格的50和100系列Almatec FUTUR泵。